IT 之家 6 月 30 日消息，據(jù) " 中科院之聲 " 公眾號，在衛(wèi)星激光通信系統(tǒng)中，光束控制精度決定了通信質(zhì)量。如果把衛(wèi)星激光通信系統(tǒng)視作遨游太空的 " 數(shù)字生命體 "，那么控制激光的快速反射鏡（以下簡稱快反鏡）就是維持它運(yùn)轉(zhuǎn)的 " 精密心臟 "。這顆 " 硅基心臟 " 精準(zhǔn)調(diào)節(jié)激光束，可以確保星間通信的 " 生命信號 " 不中斷。

近日，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所成功研制了一款集成角度傳感器的高性能 MEMS 快反鏡。它的鏡面尺寸大、封裝體積小，集成了高靈敏度角度傳感器，具備良好的線性度、角分辨率、響應(yīng)速度、重復(fù)定位精度和鏡面動態(tài)形變，可以實(shí)現(xiàn)更精確的激光光束閉環(huán)控制，在激光衛(wèi)星通信方面具有巨大的應(yīng)用潛力。如圖，封裝后的 MEMS 快反鏡僅 1 元硬幣大小。

IT 之家從官方介紹獲悉，為了滿足激光星間鏈路對高精度光束控制的需求，快反鏡需要具備高指向精度、高工作帶寬和高光學(xué)質(zhì)量等一系列極限性能指標(biāo)。

研究團(tuán)隊(duì)直面兩大技術(shù)瓶頸：傳統(tǒng)機(jī)械快反鏡體積大、功耗高、存在遲滯，以及原有 MEMS 快反鏡鏡面小、帶寬低、無集成角度傳感器。為此，研究團(tuán)隊(duì)在近五年間打造出航天級的高精度、高可靠 MEMS 快反鏡。

研究團(tuán)隊(duì)采用雙層異構(gòu)集成技術(shù)，如同給器件裝上 " 復(fù)合骨骼 "，實(shí)現(xiàn) MEMS 快反鏡更高的填充因子和諧振頻率。

同時(shí)采用晶圓級鍵合工藝，實(shí)現(xiàn)快反鏡的高均一制備，器件具備高線性度、超高角度分辨率、快速階躍響應(yīng)以及高重復(fù)定位精度。

值得一提的是，該 MEMS 快反鏡具備 μ rad（微弧度）量級的指向精度，最小能分辨 0.3 μ rad 的角度變化，相當(dāng)于能分辨出 1000 公里外物體 0.3 米的位置變化。

團(tuán)隊(duì)從按壓手機(jī)屏幕中獲得靈感，利用硅壓阻應(yīng)變原理，在 MEMS 快反鏡上集成了片上角度傳感器。通過結(jié)構(gòu)創(chuàng)新設(shè)計(jì)，引入力學(xué)定向結(jié)構(gòu)形成應(yīng)力集中區(qū)域（SCR），將角度傳感器靈敏度從 3.3mV/ ( Vmrad ) 提升至 5.4mV/ ( Vmrad ) ，增幅達(dá) 63%，顯著優(yōu)化了光束控制的精確性。

這種設(shè)計(jì)就好像普通人忽然獲得了超人的聽力，能夠發(fā)現(xiàn)那些以前被忽視的細(xì)節(jié)，清晰地聽到遠(yuǎn)處細(xì)微的聲音。

為了保證太空激光通信信號 " 毫發(fā)無損 "，研究團(tuán)隊(duì)進(jìn)行了理論計(jì)算、有限元仿真以及實(shí)驗(yàn)測試，首次針對 10 毫米大口徑鏡面動態(tài)變形開展 " 全維度體檢 "。

結(jié)果表明，在準(zhǔn)靜態(tài)驅(qū)動（500Hz@± 2mrad），也就是 500Hz（赫茲）的頻率下，MEMS 快反鏡的角度精度能夠達(dá)到 ± 2mrad（毫弧度），最大動態(tài)表面形變僅 2 納米。

這就相當(dāng)于在足球場大小的鏡面上，所有起伏不超過一根頭發(fā)絲的直徑，滿足遠(yuǎn)距離衛(wèi)星激光通信對鏡面面型的嚴(yán)苛要求。

此次開發(fā)的 MEMS 快反鏡優(yōu)勢顯著，在航空航天領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用前景。未來，研究團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)針對鏡面尺寸、閉環(huán)控制以及器件可靠性進(jìn)行優(yōu)化研究。