《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》8 月 31 日訊（記者 陳俊清） 截至目前，科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)公司均已披露 2025 年半年度報(bào)告。

據(jù)《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》記者統(tǒng)計(jì)，科創(chuàng)板共有 13 家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，其業(yè)務(wù)范圍涵蓋刻蝕設(shè)備、薄膜沉積、測(cè)試設(shè)備、清洗設(shè)備等細(xì)分領(lǐng)域。

具體來看，12 家科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在 2025 年上半年實(shí)現(xiàn)了營收正增長，其中 2 家增速超五成、5 家增速超四成；有 8 家企業(yè)歸母凈利潤為正且實(shí)現(xiàn)同比增長，2 家增速超七成。

12 家科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司營收正增長

從營收維度來看，2025 年上半年，科創(chuàng)板 13 家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計(jì)營收超 201 億元，同比增長中位數(shù)約 31%，其營收增幅排為：拓荊科技、中科飛測(cè)、京儀裝備、中微公司、華峰測(cè)控、盛美上海、華海清科、耐科裝備、先鋒精科、屹唐股份、富創(chuàng)精密、芯源微。與此同時(shí)，僅晶升股份 2025 年上半年?duì)I收負(fù)增長。

從細(xì)分領(lǐng)域來看，薄膜沉積、量檢測(cè)設(shè)備相關(guān)公司營收延續(xù)高增長態(tài)勢(shì)。拓荊科技作為今年上半年?duì)I收增幅最高的科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，期內(nèi)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 19.54 億元，同比增長 54.25%。

拓荊科技在半年報(bào)中表示，其先進(jìn)制程的驗(yàn)證機(jī)臺(tái)已順利通過客戶認(rèn)證，逐步進(jìn)入規(guī)?；慨a(chǎn)階段?；谛滦驮O(shè)備平臺(tái)（PF-300TPlus 和 PF-300M）和新型反應(yīng)腔（pX 和 Supra-D）的 PECVD Stack（ONO 疊層）、ACHM 及 PECVDBianca 等先進(jìn)工藝設(shè)備，陸續(xù)通過客戶驗(yàn)收，量產(chǎn)規(guī)模不斷增加，ALD 設(shè)備持續(xù)擴(kuò)大量產(chǎn)規(guī)模，業(yè)務(wù)增長強(qiáng)勁。

量檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，中科飛測(cè)上半年?duì)I收增幅同樣超過五成，為 7.02 億元，同比增長 51.39%。該公司表示，受益于公司核心技術(shù)的不斷突破和產(chǎn)品種類的日趨豐富，以及客戶群體和客戶訂單持續(xù)增長，推動(dòng)了公司經(jīng)營業(yè)績(jī)?cè)鲩L。

半年報(bào)顯示，中科飛測(cè)明暗場(chǎng)設(shè)備較早地進(jìn)入到了國內(nèi)多家頭部客戶產(chǎn)線上進(jìn)行工藝開發(fā)與應(yīng)用驗(yàn)證工作，并實(shí)現(xiàn)小批量出貨。

在刻蝕設(shè)備領(lǐng)域，中微公司作為國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備市值超千億的龍頭企業(yè)，營收規(guī)模也占據(jù)科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)首位，該公司上半年實(shí)現(xiàn)營收 49.61 億元，同比增長 43.88%。其中，2025 年上半年刻蝕設(shè)備銷售約 37.81 億元，同比增長約 40.12%；LPCVD 設(shè)備銷售約 1.99 億元，同比增長約 608.19%。

中微公司表示，目前其在研項(xiàng)目涵蓋六類設(shè)備，超二十款新設(shè)備的開發(fā)。公司研發(fā)新產(chǎn)品的速度顯著加快，過去通常需要三到五年開發(fā)一款新設(shè)備，現(xiàn)在只需兩年或更短時(shí)間就能開發(fā)出有競(jìng)爭(zhēng)力的新設(shè)備，并順利進(jìn)入市場(chǎng)，公司有望在未來幾年更大規(guī)模地推出新產(chǎn)品。

相對(duì)于以上營收實(shí)現(xiàn)正增長的半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)，晶升股份在營收端和利潤端的壓力進(jìn)一步延續(xù)。今年上半年，該公司營業(yè)收入 1.58 億元，同比減少 20.29%；歸母凈利潤 -745 萬元，同比下降 121.28%，主要系行業(yè)周期性波動(dòng)、公司本期驗(yàn)收產(chǎn)品結(jié)構(gòu)暫時(shí)性變動(dòng)及主要驗(yàn)收的光伏產(chǎn)品毛利率下降所致。

當(dāng)前，晶升股份也在有新增長潛力的協(xié)同業(yè)務(wù)領(lǐng)域積極探索。該公司正加速 CVD 設(shè)備、切割設(shè)備、減薄設(shè)備、拋光設(shè)備等新產(chǎn)品的推出與定制樣機(jī)的批量化轉(zhuǎn)換，同時(shí)推進(jìn)特種材料、耗材等材料領(lǐng)域的業(yè)務(wù)進(jìn)程。今年上半年，晶升股份研發(fā)費(fèi)用為 2056.39 萬元，占營業(yè)收入的 12.98%，同比增加 2 個(gè)百分點(diǎn)。

浙商證券在近期研報(bào)中表示，關(guān)鍵半導(dǎo)體設(shè)備研發(fā)突破、送樣驗(yàn)證，推動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備板塊業(yè)績(jī)實(shí)現(xiàn)增長。國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備各細(xì)分環(huán)節(jié)正不斷研發(fā)突破，快速積累自主 IP，并逐步具備出?？赡苄浴４送?，隨著國內(nèi)供應(yīng)鏈在零部件、材料領(lǐng)域的加強(qiáng)，機(jī)臺(tái)穩(wěn)定性一致性正快速提升，頭部晶圓廠采購設(shè)備國產(chǎn)化有望提速。

頭部企業(yè)貢獻(xiàn)近七成利潤 AI 驅(qū)動(dòng)產(chǎn)業(yè)復(fù)蘇

與營收規(guī)模普遍提升的情況不同，上半年科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司歸母凈利潤呈現(xiàn)明顯分化態(tài)勢(shì)。共 8 家企業(yè)實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤正增長，5 家負(fù)增長，其中 3 家下滑七成以上，2 家處于虧損狀態(tài)。

其中，中微公司歸母凈利潤規(guī)模再次位居榜首，上半年歸母凈利潤 7.06 億元，同比增長 36.62%。清洗設(shè)備作為半導(dǎo)體制造過程中使用最頻繁的設(shè)備之一，在 2025 年上半年保持了穩(wěn)健增長。盛美上海作為國內(nèi)清洗設(shè)備的龍頭企業(yè)，上半年以 6.96 億元的歸母凈利潤位居第二，同比增長 56.99%。

盛美上海表示，業(yè)績(jī)?cè)鲩L一方面系設(shè)備銷售端持續(xù)放量，目前公司銷售端產(chǎn)品增量仍以清洗設(shè)備為主，同時(shí)電鍍?cè)O(shè)備的銷量相較去年同期也有了顯著提升；另一方面為需求端表現(xiàn)強(qiáng)勁，二季度邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片兩大領(lǐng)域的客戶需求均較為旺盛。

從增速方面來看，上半年歸母凈利潤增幅最高的科創(chuàng)板半導(dǎo)體設(shè)備公司為華峰測(cè)控，該公司上半年歸母凈利潤為 1.96 億元，同比增長 74.04%。

華峰測(cè)控將業(yè)績(jī)?cè)鲩L歸因于 AI 帶動(dòng)與汽車電子和消費(fèi)電子等下游領(lǐng)域復(fù)蘇。該公司表示，2025 年上半年，全球半導(dǎo)體行業(yè)在人工智能（AI）浪潮的強(qiáng)力驅(qū)動(dòng)下，延續(xù)了始于 2024 年的復(fù)蘇態(tài)勢(shì)，并步入新一輪的增長周期。下游應(yīng)用中，除了 AI 領(lǐng)域，汽車電子和消費(fèi)電子等市場(chǎng)也為本土半導(dǎo)體企業(yè)提供了廣闊的發(fā)展空間，拉動(dòng)了半導(dǎo)體設(shè)備的出貨。

與此同時(shí)，華海清科、富創(chuàng)精密等多家半導(dǎo)體設(shè)備公司在半年報(bào)中表示 AI 技術(shù)落地應(yīng)用為半導(dǎo)體設(shè)備持續(xù)高速增長提供強(qiáng)勁動(dòng)能。

先鋒精科、拓荊科技、芯源微、富創(chuàng)精密、晶升股份 5 家企業(yè)凈利潤同比負(fù)增長。值得注意的是，上述部分公司今年上半年研發(fā)投入增加。如：芯源微上半年在歸母凈利潤同比減少 79.09% 的情況下，研發(fā)費(fèi)用同比增長 12.87%，達(dá) 1.32 億元。

對(duì)于上半年歸母凈利潤同比下降，拓荊科技持樂觀態(tài)度。該公司表示，因 2025 年第一季度確認(rèn)收入的新產(chǎn)品、新工藝的設(shè)備在客戶驗(yàn)證過程成本較高，毛利率較低。隨著公司新產(chǎn)品驗(yàn)證機(jī)臺(tái)完成技術(shù)導(dǎo)入并實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)突破和持續(xù)優(yōu)化，2025 年第二季度毛利率環(huán)比改善，呈現(xiàn)穩(wěn)步回升態(tài)勢(shì)。

有市場(chǎng)觀點(diǎn)認(rèn)為，本土晶圓廠在過去兩年囤積了較多海外設(shè)備，階段性地對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備下單意愿有所減退會(huì)累及國產(chǎn)設(shè)備的下單節(jié)奏。市場(chǎng)擔(dān)心全球成熟工藝處于供過于求的狀態(tài)，國內(nèi)擴(kuò)產(chǎn)有可能陷入衰退。

對(duì)此，浙商證券發(fā)表觀點(diǎn)稱，其認(rèn)為全球成熟工藝產(chǎn)能的供過于求狀態(tài)僅僅是階段性的，當(dāng)前傳統(tǒng)消費(fèi)電子類產(chǎn)品處于緩慢復(fù)蘇周期，并未進(jìn)入創(chuàng)新拉動(dòng)帶來的放量成長階段，若傳統(tǒng)消電、AI 終端放量成長，供需情況有望反轉(zhuǎn)。

擴(kuò)產(chǎn)與行業(yè)整合提速

當(dāng)前，生成式 AI 支出爆發(fā)式增長，Gartner 預(yù)測(cè) 2025 年全球生成式 AI 支出將同比增長 76% 達(dá) 6440 億美元，其中 80% 集中 AI 服務(wù)器、智能手機(jī)和 PC 等硬件領(lǐng)域。市場(chǎng)普遍認(rèn)為，基于對(duì)中國大陸本土自主可控的需求，尤其是對(duì)先進(jìn)制程的需求，預(yù)計(jì)未來將持續(xù)推動(dòng)中國內(nèi)先進(jìn)晶圓廠擴(kuò)張和設(shè)備銷售。

SEMI 總裁兼首席執(zhí)行官 Ajit Manocha 表示，" 在 2024 年實(shí)現(xiàn)強(qiáng)勁增長之后，預(yù)計(jì)今年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額將再次擴(kuò)大，并且在 2026 年創(chuàng)下新的紀(jì)錄。盡管半導(dǎo)體行業(yè)始終在密切關(guān)注宏觀經(jīng)濟(jì)所存在的不確定性，但人工智能推動(dòng)下的芯片創(chuàng)新需求，正不斷驅(qū)動(dòng)著對(duì)產(chǎn)能擴(kuò)張和領(lǐng)先生產(chǎn)的投資。"

面對(duì)需求端的不斷增長，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)也在積極進(jìn)行擴(kuò)產(chǎn)。中微公司計(jì)劃通過有機(jī)生長和外延擴(kuò)展，逐步覆蓋半導(dǎo)體高端設(shè)備的 50% 到 60%。拓荊科技 " 高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)項(xiàng)目 " 建成后，將大幅提高公司薄膜沉積設(shè)備的產(chǎn)能，以支撐公司 PECVD、SACVD、HDPCVD 等高端半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品未來的產(chǎn)業(yè)化需求，目前已取得本項(xiàng)目的土地使用權(quán)證、用地規(guī)劃許可證，并簽訂總包施工合同。

盛美上海在近期調(diào)研中表示，該公司臨港廠區(qū)共有兩個(gè)生產(chǎn)工廠，其中廠 A 已經(jīng)投產(chǎn)，在其滿產(chǎn)狀態(tài)下，可達(dá)到 100 億元的產(chǎn)能。目前臨港廠區(qū)的工廠產(chǎn)能可以支持公司完成今年的全年業(yè)績(jī)指引目標(biāo)，即 65 億元至 71 億元。計(jì)劃于明年下半年完成裝修后開始投產(chǎn)，正式投產(chǎn)后可以實(shí)現(xiàn) 200 億元的年產(chǎn)值。

政策方面，國家大基金三期重點(diǎn)支持設(shè)備和零部件加速國產(chǎn)化。此外，2024 年以來，新 " 國九條 "、" 科創(chuàng)板八條 " 等政策發(fā)布，半導(dǎo)體領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)并購持續(xù)升溫，" 并購六條 " 明確支持跨界并購、允許并購未盈利資產(chǎn)。

2025 年上半年，北方華創(chuàng)完成收購芯源微 17.9% 的股份，成為芯源微第一大股東，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)進(jìn)入深度整合期。海光信息和中科曙光也于今年 6 月份雙雙公告披露換股吸收合并預(yù)案。公告顯示，海光信息擬以 0.5525:1 的換股比例吸收合并中科曙光，并向特定投資者發(fā)行股份募集配套資金。

海光信息董事、總經(jīng)理沙超群表示，本次合并將充分發(fā)揮中科曙光完整的系統(tǒng)能力和算力應(yīng)用生態(tài)，實(shí)現(xiàn)云計(jì)算應(yīng)用的產(chǎn)業(yè)鏈延展，形成一體化優(yōu)勢(shì)，側(cè)重通過系統(tǒng)能力提升公司芯片的性能，解決功耗等影響因素對(duì)摩爾定律進(jìn)一步突破的掣肘，實(shí)現(xiàn)公司的 CPU 和 DCU 在更加廣泛的行業(yè)應(yīng)用，對(duì)標(biāo)國際行業(yè)巨頭。

與此同時(shí)，中微公司也通過參設(shè)產(chǎn)業(yè)基金布局半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈。2025 年 6 月，中微公司全資子公司中微臨港與關(guān)聯(lián)方共同發(fā)起設(shè)立上海智微攀峰創(chuàng)業(yè)投資合伙企業(yè)，基金規(guī)模 15 億元，中微臨港認(rèn)繳 7.35 億元（占比 49%），聚焦半導(dǎo)體、泛半導(dǎo)體及戰(zhàn)略新興領(lǐng)域。

拓荊科技在近期披露的接待調(diào)研公告顯示，公司近兩年一直緊密圍繞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈進(jìn)行產(chǎn)業(yè)投資布局，開展了對(duì)恒運(yùn)昌、新松半導(dǎo)體、珂瑪科技、芯密科技、先鋒精科等 10 余家公司的參股投資。同時(shí)，該公司也在關(guān)注合適的標(biāo)的，在未來的發(fā)展規(guī)劃中，不排除通過并購契合公司戰(zhàn)略、能夠產(chǎn)生協(xié)同效應(yīng)的優(yōu)質(zhì)標(biāo)的助力公司業(yè)務(wù)的深度拓展。